AOR 설비 관련 3차원 측정방식 특허 취득

▶ 불량 수리 후 데미지를 3차원으로 분석하는 데 사용할 수 있는 특허
▶ 핵심 기술 보호 및 당사 3차원 측정기의 기술 경쟁력 확보

<2023-06-22> 글로벌 반도체기판 검사 선도기업 기가비스(420770, 대표이사 강해철)가 ‘초점 변화 기반 3차원 측정기에서 최적의 스캔 범위 자동 설정’에 대한 특허를 취득했다고 22일 밝혔다.

이번 특허는 기가비스의 핵심인 AOR 설비에 장착되어 불량 수리 후 데미지를 3차원으로 분석하는 데 사용할 수 있는 특허이다. 향후 AOI 및 VRS에도 3차원 측정기 탑재가 가능하여 기술의 확장성이 매우 크다.

AOR(Automated Optical Repair : 자동광학수리기)은 불량회로가 있는 기판을 폐기하지 않고 양품으로 활용할 수 있어 제품 수율을 획기적으로 향상시킬 수 있는 설비이다. AOR은 기술 고도화가 매우 어려운 설비로 세계적으로 당사를 포함해 두 회사만 해당 설비를 제작할 수 있다.

강해철 기가비스 대표는 “초점 변화 기반 3차원 측정 방식으로 미세 패턴이 밀집된 영역의 정확한 형상 분석을 위해서는 반드시 필요한 기술이 특허로 등록됨으로써 핵심 기술 보호 및 당사 3차원 측정기의 기술 경쟁력을 확보하게 되었다”라고 덧붙였다.

한편 기가비스는 지난 5월 많은 투자자들의 관심을 받으며 코스닥에 상장하였고, 첨단 기술 리더십 기반으로 시장을 선도하고 있는 반도체기판 후공정 검사분야의 대표기업이다.

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IR큐더스 박경수 매니저 (070-5068-6344)