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TaiwaneseProducts AOR
SSR - III
| ITEM | SPECIFICATIONS | REMARKS |
| Dimension | 1,580(W) * 1,730(L) * 1,420(D) mm | |
| Weight | 1,500 Kg | |
| Line / Space | Min. 10/10㎛ (SSR-III) | |
| Repaired Defects | Any Excess Copper Type : Short, Protrusion, μShort, Etc. |
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