AOR

Automated Optical Repair

自動リペア装置

Automated Optical Repair

自動リペア装置

ギガビスのAOR (自動リペア装置) は、半導体基板の不良を精密に修正し、廃棄されるはずの高付加価値基板を良品化する、圧倒的な歩留まり改善技術を提供します。

精密リペア

基板不良に対する高精度リペア技術の実現

歩留まり向上

不良損失の最小化および良品率の最大化

収益性の向上

高付加価値基板の製造における必須工程

SSR - Ⅴ

製品紹介

SSR - Ⅴ

SSR - Ⅳ

SSR-IV — Dimension, Weight, Repaired Defects, Line/Space specifications
ITEM	SPECIFICATIONS
Dimension	1,680(W) * 1,740(L) * 1,879(H) mm
Weight	1,900 Kg
Repaired Defects	Any Excess Copper Type : Short, Protrusion, μShort, Etc.
Line / Space	Min 5 / 5㎛

SSR - Ⅲ

SSR-III — Dimension, Weight, Repaired Defects, Line/Space specifications
ITEM	SPECIFICATIONS
Dimension	1,580(W) * 1,730(L) * 1,420(H) mm
Weight	1,500 Kg
Repaired Defects	Any Excess Copper Type : Short, Protrusion, μShort, Etc.
Line / Space	Min 10 / 10㎛

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