AOR

Automated Optical Repair

自动化光学修复设备

Automated Optical Repair

自动化光学修复设备

GigaVis的AOR(自动化光学修复设备)拥有独家专业技术提升良率，能够精准修复半导体基板上存在的缺陷，将原本作丢弃处理的高附加值基板转化为合格产品。

精准修复

基板缺陷高精度修复技术的应用

提升良率

最大限度地减少缺陷带来的损失，
并有效提高合格产品转化率。

提升盈利能力

高附加值基板制造工艺中的关键环节

SSR - Ⅴ

产品介绍

SSR - Ⅴ

SSR - Ⅳ

SSR-IV — 외관, 무게, 수리 가능 결함, 라인/스페이스 사양
ITEM	SPECIFICATIONS
Dimension	1,680(W) * 1,740(L) * 1,879(H) mm
Weight	1,900 Kg
Repaired Defects	Any Excess Copper Type : Short, Protrusion, μShort, Etc.
Line / Space	Min 5 / 5㎛

SSR - Ⅲ

SSR-III — 외관, 무게, 수리 가능 결함, 라인/스페이스 사양
ITEM	SPECIFICATIONS
Dimension	1,580(W) * 1,730(L) * 1,420(H) mm
Weight	1,500 Kg
Repaired Defects	Any Excess Copper Type : Short, Protrusion, μShort, Etc.
Line / Space	Min 10 / 10㎛

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